Toote kirjeldus:
Silicon on Insulator (SOI) vahvlid pakuvad tootmislahendust, mis aitab vähendada võimsust ja soojust, suurendades samal ajal seadme kiirust.
Räni isolaatorplaatidel on kõige levinum mikroelektromehaanilistes süsteemides (MEMS) ja täiustatud komplementaarsetes metall-oksiid-pooljuhtide (CMOS) integraallülitustes. Isolaatorplaatidel olev räni parandab paljusid protsesse, milles traditsioonilisemaid räniplaate kasutatakse.
Need vahvlid pakuvad tootmislahendust, mis aitab vähendada võimsust ja soojust, suurendades samal ajal seadme kiirust. Räni isolaatorplaadid on kolmekihiline materjalivirn, mis koosneb järgmistest osadest: esmaklassilise räni aktiivne kiht (seadme kiht), elektriliselt isoleerivast ränidioksiidist maetud oksiidikiht (karp) ja räni suuremahulisest tugivahvlist (käepide). SOI vahvlid on ainulaadsed tooted konkreetsete lõppkasutajate rakenduste jaoks.
| Projekt | Parameeter | |
|
Üldiselt |
Vahvli läbimõõt (mm) |
50/75/100/125/150/200mm±25um |
|
vibu/lõime (<> |
<10um |
|
|
Osakesed (<> |
0.3um<30ea |
|
|
Korterid/sälk |
Lame või sälk |
|
|
Serva välistamine (mm) |
/ |
|
|
Seadmekiht |
Seadme kihi tüüp/Dopant |
N-tüüp/P-tüüp |
|
Seadmekihi orientatsioon |
<1-0-0> / <1-1-1> / <1-1-0> |
|
|
Seadme kihi paksus (um) |
0.1–300 um |
|
|
Seadme kihi takistus (oomi•cm) |
0.001–100,000 oomi-cm |
|
|
Seadmekihi osakesed (<> |
<30ea@0.3 |
|
|
Seadmekihi TTV(<> |
<10um |
|
|
Seadme kihi viimistlus |
Poleeritud |
|
|
KAST |
Maetud termilise oksiidi paksus (um) |
50nm (500Å) ~ 15um |
|
Käepideme kiht |
Käepideme vahvlitüüp/doant |
N-tüüp/P-tüüp |
|
Käepideme vahvli orientatsioon |
<1-0-0> / <1-1-1> / <1-1-0> |
|
|
Käepideme vahvlitakistus (oomi•cm) |
0.001–100,000 oomi-cm |
|
|
Käepideme vahvli paksus (um) |
>100 um |
|
|
Käepideme vahvliviimistlus |
Poleeritud |
|
*Kui teie nõuded on väljaspool ülaltoodud spetsifikatsioone, võtke meiega ühendust, et arutada edasi. Erinevate seadmekihtide ja kohandatud SOI-plaatide puhul võib teatud spetsifikatsioonide puhul olla minimaalne tellimiskogus 15-25 vahvlit.
Kuum tags: 2"-8"soi vahvlite, Hiina 2"-8"soi vahvlite tootjad, tarnijad, tehas
